AP-1000等離子清洗機(jī)
搭配HTP(高產(chǎn)能)電極的AP-1000等離子系統(tǒng)是綜合了March擁有的電極設(shè)計(jì)和AP-1000的高可靠性及其優(yōu)良的工藝性。AP-1000 HTP充分利用了射頻等離子產(chǎn)生的活性離子，不僅縮短工藝時(shí)間而且提高處理均勻性。
AP-1000HTP配備4路氣體流量控制器，因工藝需求可選周不同的氣體包括氬氣、氫氣和氦氣等。
開槽式料盒可豎放于工藝腔內(nèi)，通常每個(gè)料盒最少可放置20條引線框，根據(jù)料盒尺寸大小，一爐可最多放置12個(gè)料盒。